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ISO 14644-1 Cleanroom Standards

日期:2020-05-20 08:35
浏览次数:2854
摘要: ISO 14644-1 Cleanroom Standards Class Maximum Particles/m³ FED STD 209E equivalent >0.1 um >0.2 um >0.3 um >0.5 um >1 um >5 um .

ISO 14644-1 Cleanroom Standards


Class

Maximum  Particles/m³

FED STD 209E equivalent

>0.1 um

>0.2 um

>0.3 um

>0.5 um

>1 um

>5 um

ISO 1

10

2

 

 

 

 

 

ISO 2

100

24

10

4

 

 

 

ISO 3

1,000

237

102

35

8

 

Class1

ISO 4

10,000

2,370

1,020

352

83

 

Class10

ISO 5

100,000

23,7000

102,000

3,5200

8,320

 293

Class 100

ISO 6

1,000,000

237,000

102,000

35,200

8,320

2,930

Class1,000

ISO 7

 

 

 

352,000

83,200

2,930

Class 10,000

ISO 8

 

 

 

3,520,000

832,000

29,300

Class 100,000

ISO 9

 

 

 

35,200,000

8,320,000

293,000

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